微型馬達(dá)、電機(jī)類
Parylene具備在MEMS領(lǐng)域中運(yùn)用的特點(diǎn)!
接近微米級(jí)的精密制作；極薄的膜層仍具極優(yōu)的電性能、物理機(jī)械性能和防腐蝕功能；并與微機(jī)電領(lǐng)域的材質(zhì)有很好的相容性。
Parylene的超薄特性
在0.2微米厚時(shí)就完全沒(méi)有針孔，可以滲入其他材料所不能進(jìn)入的微細(xì)縫隙和孔洞之內(nèi)，并且孔內(nèi)和孔口附近的厚度基本相同，故可以在不改變對(duì)象的外觀、尺寸、彈性、重量條件下，同時(shí)為其提供良好的防護(hù)。
Parylene具有極高的絕緣強(qiáng)度及優(yōu)良的電性能
5微米厚就能耐1000V以上直流擊穿電壓，因此在微機(jī)電系統(tǒng)中，Parylene是一極佳的電介質(zhì)材料。
Parylene優(yōu)異化學(xué)惰性和阻隔性能
對(duì)傳感器的防酸、堿和有機(jī)溶劑及對(duì)水汽和鹽霧等惡劣環(huán)境有極佳的阻隔防護(hù)能力。
Parylene優(yōu)良的物理機(jī)械性能
Parylene的拉伸強(qiáng)度和屈服強(qiáng)度都很高，對(duì)微型電路保護(hù)方面具有明顯的優(yōu)勢(shì)，Parylene可在微細(xì)小的線路表面形成完整的涂層，大大加強(qiáng)上述較脆弱部位的連接強(qiáng)度。在學(xué)術(shù)研究領(lǐng)域還用作微型傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和微型閥門的結(jié)構(gòu)材料和防護(hù)材料。
Parylene適用于各種傳感器的防護(hù)(汽車用、腐蝕環(huán)境用、生物醫(yī)學(xué)用、聲學(xué)等)。目前亦導(dǎo)入半導(dǎo)體晶圓封裝等制程。